是地球文明可以说最接近三体水滴的得意之作，平整度达到了原子级xiuxi8♜com
难度系数极高，设计、材料、工艺、组装缺一不可xiuxi8♜com
由穆尼国蔡司公司生产，蔡司为阿斯麦尔的光学部件独家供应商，蔡司的光刻机光学部件就约占阿斯麦尔产品成本的26%xiuxi8♜com
“独家”代表无可替代，“26%”表示成本极高xiuxi8♜com
从这里也可以看出这个透镜多吊了xiuxi8♜com
当然，这个技术被马天带人攻破了，原因就是不想给蔡司公司交费xiuxi8♜com
再比如对准xiuxi8♜com对准需靠能同步和曝光的双工件台系统，它是爱斯麦尔打败岛国光刻机厂商的法宝之一，现在也是天宇星海打败岛国光刻机厂商的法宝之一xiuxi8♜com
再比如最重要的光源——由60千瓦的激光驱动的极紫外光把液态锡轰成等离子体时发出的同感光波xiuxi8♜com
是马天根据系统在1000万影响值奖励给他的《一种新的高精度激光加工探究》论文研发出来的特殊光源（122章），就这个技术，正常企业最少要花5年时间才能研究出来xiuxi8♜com
还有很多，这里就不举例了xiuxi8♜com
总而言之，光刻机称为人类巅峰机械之作不是没有道理，价格能到数10亿，也绝对是物有所值xiuxi8♜com
几分钟后，加工后的硅片从光刻机出来，进入下一道工艺——烘焙，又简称后烘xiuxi8♜com
这一步的目的是通过加热，让光刻胶中光化学反应充分完成，可以弥补曝光强度不足的问题xiuxi8♜com
同时还能减少光刻机显影后，因为驻波效应产生的一圈圈纹路xiuxi8♜com
后烘之后，再把之前曝光的部分溶解清除，光掩模上的图形就出现在了光刻胶上，再用去离子水冲洗xiuxi8♜com
最后再进行一遍烘焙，不过这次是叫“坚膜烘焙”，当然这里是针对湿法，如果是用等离子体的干法刻蚀，这一步可以省略xiuxi8♜com
进行了这么多步骤后，才来到观察精度和测量，也就是这次马天最直观要展示的成果——光刻精度展示xiuxi8♜com
9nm的工艺，用普通的光学显微镜肯定不够看了，众人也是来到了原子力显微镜台xiuxi8♜com
白衣服的工作人员把刚刚经过好几步加工的硅片放在了显微镜台上，众人可以通过仪器精细查看上面的精度了xiuxi8♜com
9nm的测量结果，赫然呈现在大屏幕上xiuxi8♜com
聂振远也不认为马